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使用于研讨监测土壤的力学结构改变, 一般用于山体, 岩石和冻土等环境研讨的物理量传感器 MEMS, 这种传感器的制作一般要通过镀膜, 堆积, 刻蚀等工艺屡次循环, 金 Au 和 铂 Pt 是传感器加工中常用的涂层, 在完结镀膜后, 蚀刻是制作微型结构的重要工艺之一, 用传统的刻蚀工艺 ( 湿法刻蚀, ICP 刻蚀和 RIE 刻蚀) 常常无法有用的刻蚀出所需的图形.
上海伯东日本原装进口离子束刻蚀机 IBE 能很好的处理传感器 MEMS 的刻蚀难题, 射频视点能随意调整, 蚀刻可以精确的通过需要做笔直, 斜面等等加工形状, 刻蚀那些很难刻蚀的硬质或慵懒资料.
上海伯东日本原装规划制作离子刻蚀机 IBE, 供给微米级刻蚀, 满意一切资料的刻蚀, 即便对磁性资料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体资料, 这些难刻蚀的资料也能供给蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的资料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交给约 500套离子蚀刻机. 蚀刻机可装备德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRi 考夫曼离子源!
伯东公司超越 50年的刻蚀 IBE 商场经历, 具有巨大的装置根底和通过商场验证的刻蚀技能!
若您要进一步的了解离子束蚀刻机概况信息或评论, 请联络上海伯东叶女士 分机107