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电子级磷酸首要运用在在晶圆制作的刻蚀工艺环节,用于氮化硅的刻蚀或去除。一起,电子级磷酸亦是高选择性磷酸蚀刻液、高选择性金属钨去除液、铝蚀刻液等功能湿用的高选择性蚀刻液需求的磷酸大幅度增加,促进着全球电子级磷酸需求量近几年继续攀升。
表明,施行本项目有利于公司习惯电子级磷酸继续增加的商场需求,稳固现有工业根底,抵近方针商场上台产品规划,增强公司归纳竞争力,推进公司加速高水平质量的开展。
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