深邃宽比介质刻蚀机世界招标弄清或改变公告(2)

  弄清或改变扼要阐明：改变开标地址为：安徽省蚌埠市龙子湖区李楼乡东海大路2609号新能大厦维也纳酒店蚌埠高铁南站店22楼会议室

  苏美达世界技能交易有限公司受招标人托付对下列产品及服务进行世界揭露竞争性招标，于2025-08-25在我国世界招标网发布改变公告。本次招标选用传统招标方法，现约请合格招标人参与招标。

  基本原理：在射频电压的效果下，碳氟类气体发生的等离子体，和二氧化硅反响生成SiF4,生成物被抽出腔体终究到达刻蚀的意图。

  该设备主要由主操控办理体系，全自动传输体系，1个刻蚀工艺腔，尾气处理体系和相应的射频体系，气路体系，制冷体系、真空体系等模块组成。其他参数详见第八章

  招标人应具有的资历或成绩:①招标人如为境内企业，供给企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外公司能够供给企业注册登记证。

  ②招标人能够是设备制作厂家，也能够是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有用授权书。

  ③招标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。

  ④招标人需求具有履行合同所必需的设备技能上的支撑和服务才能（供给相关证明资料或承诺书，承诺书格局自拟）。

  其他阐明:每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京时间，节假日在外）不购买招标文件的不得参与招标。联系人邮箱：

  招标文件送达地址:安徽省蚌埠市龙子湖区李楼乡东海大路2609号新能大厦维也纳酒店蚌埠高铁南站店22楼会议室

  开标地址:安徽省蚌埠市龙子湖区李楼乡东海大路2609号新能大厦维也纳酒店蚌埠高铁南站店22楼会议室

  地址:安徽省蚌埠市经济开发区东海大路888号我国传感谷A区L型归纳配套楼5层