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金融界2024年11月15日音讯,国家知识产权局信息数据显现,兴芯社(重庆)...
金融界2024年11月15日音讯,国家知识产权局信息数据显现,兴芯社(重庆)电子设备有限公司获得一项名为“一种便于整理蚀刻液的半导体蚀刻设备”的专利,授权公告号CN 221999036 U,请求日期为2024年3月。
专利摘要显现,本实用新型供给一种便于整理蚀刻液的半导体蚀刻设备,归于蚀刻液收回技术领域。包含蚀刻机主体、滤网、导流台以及回流管,蚀刻机主体的下方内部水平装置滤网,滤网设置在回流管的下方滤网的两边上方别离设有推进板、阻隔板,推进板与阻隔板互相距离对称散布,推进板沿滤网的上表面朝向阻隔板滑行,推进板的底部内嵌有弹性板,弹性板与推进板弹性衔接。回流管与蚀刻机主体台面上的的蚀刻液出液口衔接。该便于整理蚀刻液的半导体蚀刻设备,无需对滤网进行拆装即可进行清洁作业,而蚀刻液整理后持续活动从排放腔中排出,全体作业流通度高,关于蚀刻液的清洁作用好。
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