乐鱼娱乐登录入口:三河建华高科请求激光解键合设备及键合晶圆别离机械手专利避免超薄晶圆因机械强度低而碎裂

  国家知识产权局信息数据显现，三河建华高科有限责任公司请求一项名为“一种激光解键合设备及键合晶圆别离机械手”的专利，公开号CN121335483A，请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种激光解键合设备及键合晶圆别离机械手，触及晶圆加工范畴，包含吸附件、旋转臂、转轴、弹性臂、装置板、移动驱动件、限位件、A复位件和B复位件；界说：装置板的长度方向为X向，转轴的轴向为Y向，X向与Y向相笔直；装置板衔接用于驱动装置板沿笔直于X向的Z向移动的移动驱动件，且Z向与Y向相笔直；该激光解键合设备及键合晶圆别离机械手，经过吸附件吸附晶圆后，移动驱动件驱动吸附件沿Z向移动，使用晶圆与载体间剩余粘性促进旋转臂绕Y向滚动和弹性臂沿X向移动，完成X向、Y向和Z向的多方向协同运动，有用涣散别离过程中的应力，避免单轴受力导致的部分应力会集，然后避免超薄晶圆因机械强度低而碎裂。

  天眼查资料显现，三河建华高科有限责任公司，成立于2003年，坐落廊坊市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。经过天眼查大数据分析，三河建华高科有限责任公司参加招投标项目55次，专利信息109条，此外企业还具有行政许可8个。

  声明：商场有危险，出资需谨慎。本文为AI根据第三方数据生成，仅供参考，不构成个人出资主张。