国家知识产权局信息数据显现,安徽万维克林精细配备有限公司请求一项名为“一种晶圆蚀刻清洗后枯燥设备”的专利,公开号CN121025757A,请求日期为2025年9月。专利摘要显现,本发明触及晶圆枯燥技能领域,详细触及一种晶圆蚀刻清洗后枯燥设备,包含外壳单元以及枯燥单元;所述外壳单元包含枯燥箱,所述枯燥箱内设置有隔板;所述枯燥单元包含滚动装置在所述隔板上滚动盘,所述滚动盘与所述隔板之间固定装置有齿环,所述滚动盘上设置有五个滚动轴,所述滚动轴底部固定装置有齿轮,所述滚动轴顶部设置有夹持环。相较于现存技能,本请求经过夹持环的滚动效果使晶圆相对夹持环滚动,使晶圆各部位均能充沛暴露在枯燥气体中,保证枯燥的全面性和充沛性,并且夹持环驱动晶圆滚动完成了对转速的成倍扩大,有用提高了甩干转速,从而显着提高了枯燥功率,降低了电机的作业负荷,削减电机因长时间高负荷运转而发生的磨损和毛病危险。
天眼查资料显现,安徽万维克林精细配备有限公司,成立于2020年,坐落合肥市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。经过天眼查大数据分析,安徽万维克林精细配备有限公司参加招投标项目7次,产业线条,此外企业还具有行政许可4个。
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