干刻蚀设备是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器,它利用干法刻蚀技术,可以在真空环境中对材料来刻蚀处理。这种设备通常用于研究材料的物理性质和化学性质,以及为制造电子器件、光学器件和其他精密器件提供技术支持。
干刻蚀设备的主要特征包括高精度、高重复性和高可靠性。它可以对很多材料进行刻蚀,包括金属、半导体、陶瓷等。在干刻蚀过程中,设备会使用一种或多种气体,如氧气、氮气、氩气等,以产生等离子体,这种等离子体可以与材料表面发生反应,从而从材料表面上去除材料。干刻蚀设备在很多领域都有广泛的应用,如微电子制造、纳米科技、光学制造、医疗器械制造等。它能够在一定程度上帮助研究人员和工程师制造出更小、更精密的器件,提高生产效率和产品质量。
按照不一样的产品类型,包括如下几个类别:电感耦合等离子体、电容耦合等离子体、反应离子蚀刻、深度反应离子蚀刻和其他。
按照不同应用,最重要的包含如下几个维度:逻辑与记忆、微机电系统、电源装置和其他。
根据WIN(辰宇咨询)研究团队调研统计,2023年全球干刻蚀设备市场销售额达到了699亿元,预计2030年将达到1085亿元,年复合增长率(CAGR)为6.4%(2024-2030)。
干蚀刻设备的全球生产呈集中化趋势。就2019年销售额而言,前三名生产商占据了92%的市场占有率。
亚太地区是最大的消费地区,2019年占76%的市场份额,其次是北美地区,占13%的市场份额。
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