江苏鲁汶仪器获得一种等离子体刻蚀设备专利愈加有助于改进晶圆外表的均匀性

  国家知识产权局信息数据显现，江苏鲁汶仪器股份有限公司获得一项名为“一种等离子体刻蚀设备”的专利，授权公告号CN223638325U，请求日期为2024年12月。专利摘要显现，本请求公开了一种等离子体刻蚀设备，触及等离子体处理范畴，包含：等离子体反响腔室，用于通入工艺气体和放置晶圆；射频组件，射频组件包含射频线圈和射频源，射频源用于给射频线圈供给射频信号，使得射频线圈发生射频场，作用于工艺气体，发生等离子体；驱动源和旋转衔接板，驱动源用于供给驱动力，旋转衔接板一端与射频线圈固定，另一端经过联轴器与驱动源固定，在驱动源的驱动下，带动射频线圈环绕射频线圈的中心旋转，以在有可能会呈现不同心的偏边刻蚀图形或许其他品种某区域反常非同心圆式的刻蚀图形的场景中，经过滚动射频线圈，使得使反常点不再固定体现在晶圆某片点上，使刻蚀图形显现为同心圆方式，然后愈加有助于改进晶圆外表的均匀性。

  天眼查资料显现，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，坐落徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。经过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外出资了3家企业，参加招投标项目254次，产业线条，此外企业还具有行政许可14个。

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