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金属无尘蚀刻机作业原理解析

来源:完美官方直播平台    发布时间:2025-11-22 16:35:54
 

  蚀刻机蚀刻的首要化学反响,运用腐蚀液在金属外表对金属物理性能的损坏和软化以此来下降雕琢的难度,本文要点介绍关于蚀刻机的作业原理:

  三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻是一个氧化-复原进程。在铜外表Fe3+使铜氧化成氯化亚铜。一起Fe3+被复原成Fe2+。

  所以,FeCl3蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe3+和Cu2+共同完成的。其间Fe3+的蚀刻速率快,蚀刻质量好;而Cu2+的蚀刻速率慢,蚀刻质量差。新制造的蚀刻液中只要Fe3+,所以蚀刻速率较快。可是跟着蚀刻反响的进行,Fe3+不断耗费,而Cu2+继续不断的添加。当Fe3+耗费掉35%时,Cu2+已添加到相当大的浓度,这时Fe3+和Cu2+对Cu的蚀刻量简直持平;当Fe3+耗费掉50%时,Cu2+的蚀刻效果由非必须位置而跃居首要位置,此刻蚀刻速率慢,即应考虑蚀刻液的更新。

  在实践生产中,标明蚀刻液的活度不是用Fe3+的耗费量来衡量,而是用蚀刻液中的含铜量(g/l)来衡量。由于在蚀刻铜的进程中,开始蚀刻时刻是相对稳定的。但是,跟着Fe3+的耗费,溶液中含铜量一向增加。当溶铜量到达60g/l时,蚀刻时刻就会延伸,当蚀刻液中的 Fe3+耗费40%时,溶铜量到达82.40g/1时,蚀刻时刻便急剧上升,标明此刻的蚀刻液不能再接着运用,应考虑蚀刻液的再生或更新。

  一般工厂很少剖析和测定蚀刻液中的含铜量,多以蚀刻时刻和蚀刻质量来确认蚀刻液的再生与更新。经历数据为,选用动态蚀刻,温度为50℃左右,铜箔厚度为 50μm,蚀刻时刻5分钟左右最理想,8分钟左右仍可运用,若超越10分钟,侧蚀严峻,蚀刻质量变差,应考虑蚀刻液的再生或更新。

  蚀刻铜箔的一起,还伴有一些副反响,便是CuCl2和FeCl3的水解反响:

  成果生成了赤色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒,悬浮于蚀刻液中,对立蚀层有必定的损坏效果

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