全球首台付运！中微公司金属刻蚀设备获重要开展

  中证报中证网讯（记者 杨洁）近来，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣告，其Primo Menova™12寸金属刻蚀设备全球首台机已顺畅付运国内一家重要集成电路研制规划及制作服务商。

  中微公司介绍，这台12英寸ICP单腔刻蚀设备Primo Menova™专心于金属刻蚀，可大规模的使用于功率半导体、存储器材和先进逻辑芯片的制作，是晶圆厂金属化工艺首要设备之一。Primo Menova™根据中微量产的ICP刻蚀产品Primo Nanova®研制制作，秉承了优异的刻蚀均一性操控，可到达高速率、高挑选等到低底层介质损害等刻蚀功能。

  中微公司一直站在先进制程工艺开展的最前沿，公司等离子体刻蚀设备已使用在世界一线纳米及其他先进的集成电路加工制作生产线及先进存储、先进封装生产线。公司的CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电理性低能等离子体刻蚀机可掩盖国内95%以上的刻蚀使用需求，在功能优异、稳定性高级方面满意了客户先进制程中各类苛刻要求。到2024年年末，公司累计已有超越6000台等离子体刻蚀和化学薄膜设备的反响台，在国内外137条生产线完成量产和大规模重复性出售。

  中微公司资深副总裁丛海表明：“中微公司开发的一系列刻蚀设备在功能、稳定性等方面满意了客户的高标准要求，并可掩盖国内大多数的刻蚀使用需求。跟着新使用的进一步拓宽，咱们将继续推动与客户的密切合作沟通，经过技术领域的继续立异，不断为客户供给极具竞争力的产品和解决方案，完成稳步开展与深度共赢。”